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半導体用電源開発へ研究施設新設 サンセイジェネリック

 プラズマ発生用高周波電源製造のサンセイジェネリック(福山市新涯町)は、研究施設「R&Dセンター」(同所)を新設し、11月に運用を始めた。半導体の製造プロセスで使われる同電源の需要増加を踏まえて開発力...

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